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掃描電子顯微鏡

簡要描述:JSM-IT200掃描電子顯微鏡,是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像,成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。二次電子信號被探測器收集轉換成電訊號,經視頻放大后輸入到顯像管柵極,調制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度,得到反映試樣表面形貌的二次電子像。用來測定樣品微觀形貌結構,可測樣品:土壤、水、金屬、巖礦、煤炭、油料、塑料、陶瓷、植物、保健品等多種樣品,

  • 產品型號:JSM-IT200
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2021-12-20
  • 訪  問  量:1101

詳細介紹

品牌自營品牌價格區間面議
儀器種類鎢燈絲應用領域電子,冶金,航天,汽車,綜合

 JSM-IT200掃描電子顯微鏡

主窗口 Z e r o m a g 觀察ー

使用主窗口顯示的樣品架示意圖和光學C C D 圖像 *1 ,能尋找視野和定位 分析位置。

顯示譜圖和顯示元素 顯示譜圖和顯示元素 Live Analysis 分析 *2

通過顯示譜圖和顯示元素,能確認正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。

數據管理圖標 數據管理圖標 SMILE VIEW

T M

L a b 數據集中管理ー按下數據管理圖標并顯示數據管理窗口后,從 S E M 圖像到分析,對全部數據能創建批量報告、

查看數據并重新分析數據。

J S M - I T 2 0 0 在完成樣品交換的同時,開始觀察需要的視野。

按照導航流程操作,也可以安全、方便、可靠地交換樣品。

樣品交換導航

樣品交換導航是從打開樣品室到開始觀察過程中進行導航的功能。

Zeromag

只需擴大光學圖像,就可以過渡到 S E M 圖像

Z e r o m a g 功能將與樣品臺位置關聯的樣品架示意圖、C C D 圖像 * (光學圖像)和S E M 圖像實現了聯動??梢灾庇^地尋找分析區域,只需放大光學圖像就可以過渡到S E M 圖像,因而能防止弄錯觀察目標和樣品。

Zeromag 的特長

?能象用光鏡一樣直觀地移動視野

?可以預約多個分析區域的測試

?可以輕松回溯到已測試完的區域

Live Analysis

S E M 觀察過程中始終顯示元素分析結果

利用Live A n a ly s i s 功能,可以不必再分別考慮S E M 觀察和E D S 分析。在觀察窗口上可以隨時顯示分析區域內的特征X射線譜圖和自動定性的主要構成元素名稱,還可以發現感興趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis 的特長

?始終顯示特征X射線譜圖

?通過顯示樣品的主要構成元素幫助發現意想不到的元素。

?對感興趣元素的標注“Alert”

利用SEM觀察窗口上配置的全域/區域面分布圖圖標能獲取整個觀察區域或需要區域的元素面分布圖。

可利用數據管理軟件 SMILE VIEWTM Lab 對采集的數據(如用譜圖、元素面分布圖、線分析對元素的再定位等)進行各種分析。

實時 凈計數面分布圖/定量面分布圖

對每個像素點的譜峰進行分離,顯示消除了臨近峰影響的元素面分布圖。對凈計數面分布圖進一步校正計算,還有用定量值顯示的定量面分布圖。

強度面分布圖和凈計數面分布圖

Pb-Mα (2.342 keV)的譜峰 Bi-Mα (2.419 keV) 的譜峰很接近,在強度面分布圖中很難把BiPb的峰*分開。通過顯示凈計數面分布圖,可以確認Bi元素原有的分布。

JSM-IT200掃描電子顯微鏡技術規格

設備型號

IT200

基本性能

二次電子像分辨率

3 nm (30 kV, 高真空)

8 nm (3 kV, 高真空)

15 nm (1 kV, 高真空)

背散射電子像分辨率

4.0 nm (30 kV, 高真空)

加速電壓

0.5 to 30kV

放大倍數

5x to 300,000x

EDS 分析

電制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮)

EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35

電子光學系統

電子槍

工廠預對中燈絲

電子槍偏壓

無縫式自偏壓

聚光鏡

可變焦聚光鏡

物鏡

超級圓錐形物鏡

物鏡光闌

3段式可動(XY軸微調)

像散存儲器

內置

圖像移動

±50μmWD 10 mm

探測器

二次電子探測器

高靈敏度半導體型背散射電子探測器

自動化功能

自動燈絲加熱

內置

自動槍對中

內置

自動聚焦

內置

自動消像散

內置

自動亮度和對比度調整

內置

樣品室

最大樣品尺寸

150 mm (直徑)

可支持的選購附件

EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman

樣品臺

X

0 ~ 80 mm

Y

0 ~ 40 mm

Z

5 ~ 48 mm

R

360

T

-10 ~ 90

最大視野范圍

127 mm (直徑)

最大樣品高度

48 mm

馬達驅動

2 (X, Y)

圖像顯示系統

PC?OS

Windows®10

顯示器

24” LCD

圖像存儲像素

320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels

圖像保存格式

Format: BMP, TIFF, JPEG

操作系統

操作導航器

 

位于顯示屏下端的操作導航器可控制以下功能:用戶管理, 樣品交換, 菜單, 成像, 打印, 參數設定, 維護

測量功能

平行線間距測量

垂直, 水平, 對角

2點之間距離測量

任意2點間距離

圓的測量

直徑, 2個圓中心間距離

角度測量

角度

面積測量

圓和多角形

計數

顆粒統計

真空系統

類型

全自動抽真空系統

油擴散泵

420 /

機械泵

100 /: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA)

外觀

基本單元尺寸

750 mm () x 1,000 mm () x 1,445 mm ()

基本單元重量

325 公斤

安裝要求

室溫

20 ± 5

濕度:

低于60%

供電

單相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA

 

E DS 適用于AAnalysis)和LALow V a c u u m &Analysis)配置。

主要技術規格

 

 

Basic(標配)

Standard

SEM 集成化

SEM 控制軟件內置

觀察/分析數據的集中管理

SEM 操作窗口上定位分析位置(從SEM GUI上直接分析)

分析位置的圖形顯示

檢測器

SDD 類型

參照檢測器列表

譜圖分析

定性分析(譜峰鑒別、自動定性)

Visual Peak ID

無標樣定量分析(ZAF 法)

標樣定量分析(ZAF 法) *4

 

PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法

線分析

線分析(水平、任意方向

元素面分布圖

元素面分布圖(多色顯示、單色顯示、多色合成

最大分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2

實時彈出譜

譜峰分離圖 (凈計數面分布圖、定量面分布圖)

實時凈計數面分布圖

實時過濾器

濃度分布曲線

電子束追蹤

連續分析

譜圖分析、線分析、元素面分布

測試完的數據的統一分析(定性、定量)

蒙太奇功能

自動制作蒙太奇(SEM 圖像、元素面分布圖)

多區域連續元素面分布圖

顆粒度分析軟件

顆粒度分析 (自動 / 手動)&EDS 分析

顆粒度分析數據的分類功能

圖形顯示顆粒度分析數據的統計處理

大區域的連續顆粒度分析 EDS 分析

樣品臺導航系統上設定測試范圍

數據管理功能和生成報告

SMILE VIEW TM Lab

幫助功能

幫助導航

離線功能

與設備主機獨立的PC 上可以解析數據的離線軟件

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